在工业生产过程中，常见的耗氧行为有：

（1）微生物行为。微生物（包括植物微生物和动物微生物）通过新陈代谢的方式消耗氧气。如苔藓、绿藻的生长，动物身体的腐败等都要消耗氧气。曾有报道，在一个2.23m3干燥的空间，因底部有一只老鼠的粉状尸体，因尸体分解导致其空间底部的氧气浓度只有5%。
（2）氧化。有机物的氧化、钢铁的生锈就是一种消耗氧气的氧化过程。在像水罐、船舱等有湿度的情况下，金属的锈蚀可以引起强烈的氧气不足。
（3）燃烧。可燃物的燃烧可以不仅仅消耗氧气，同时还会产生大量的有毒物质，包括氮、碳、硫的氧化物。

（4）吸收或吸附。有些物质（如活性炭）可以在空气中直接吸收或吸附氧气，造成缺氧。

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